Industrial Microscope

STM6/STM6-LM

STM6/STM6-LM

공구 · 측정 현미경

금속 가공·정밀 부품에서 반도체·자기 헤드 등의 다양한 측정에 사용 가능합니다.

ㆍ 스테이지 사이즈는 ，250×150㎜
ㆍ Z축의 이동은 전동식 조작
ㆍ 0.1㎛까지 측정 가능
ㆍ 빠른 스테이지 이동 방식
ㆍ Auto Focus Unit (Option)
ㆍ 고정밀도로 ，뛰어난 조작성을 실현
ㆍ 목적에 대응하는 조명 방법，관찰 방법，배율의 선택이 가능하고，다양한 측정방법에도 사용가능합니다.
ㆍ높이 측정에서의 고르지 않은 상태를 최소한으로 하는 포커스 센서를 준비．높이·깊이 측정을 효율 좋게 측정 할 수 있습니다．
ㆍ interface unit을 사용하여 퍼스널 컴퓨터에서의 측정 데이터의 보존，관리가 가능합니다
ㆍ 텔레비전 카메라，사진 촬영 장치를 option로 준비

 

STM6-LM/STM6

신뢰성 있는 Line-UP. 다양한 ACC’S로 모든 측정
요구에 대응가능

최첨단 System 성능을 갖춘 MEASURE SHOP. 신기술을 적용한 고정밀도 현미경으로서 고정밀도, 내구성은 기본이며 성능,측정요구까지도 다종다양하게 대응할 수 있는 제품력을 갖추었습니다. 대형시료에서의 빠른 검사를 실현한 STM6-LM. Class 최소의 Body로 고정밀도의 능력을 발휘하는 STM6. 풍부한 ACC’S를 통해 유저에게 최적 시스템을 제공 할 수 있습니다. 전동 Focus의 세계 최초 도입, 이상적인 UIS2 광학계, Counter 일체의 고강도 Body의 채택 등 실제적인 다양함으로 모든 측정요구에 충족하는 MEASURE SHOP. 첨단의 기능과 장비를 탑재한 측정현미경의 등장입니다.

ㆍ 높은 정밀도와 내구성을 실현하기 위한 흔들림 없는 기술력과 엄격한 traceability.
ㆍ 조작의 편리함을 Concept으로 사용하기 편리한 기능과 확장성을 철저히 추구.
ㆍ 전동 Focus를 표준 탑재하고, 대형시료를 고정밀도로 빠르게 측정
ㆍ Foot-Print에 뛰어난 소형, 고기능설계. 다채로운 조합을 실현
ㆍ 미소 영역과 단차가 있는 모든 시료를 순식간에 focusing
ㆍ MM6-CAL22 :Compact한 Body에 다채로운 연산기능을 탑재

Special Features : Reliability

높은 정밀도와 내구성을 실현할 수 있는 우수한 기술력과 엄격한 Traceability
■ 빈틈 없는 설계력,고도의 기술력이 품질향상과 Process개선에 공헌

ㆍ경년변화에 강한 고강성 Body & Stage
오랜 기간동안 이루어진 측정현미경에의 대한 전념과 고객과의 대화를 통해 배양된 Know-how, 기술력의 모든 것을 투입한 MEASURE SHOP. 정밀도, 강성을 기본으로 측정기로서 가장 중요한 정밀도를 오랜기간 유지하기위해 경년변화에 강한 고강선 Body와 Stage를 개발하였습니다. Guide-way에는 우수한 진직도(Straitness)를 얻을 수 있는 Linear guide방식을 채용했고 독자적인 Scale을 내장하여 높은 신뢰성에 중점을 두었습니다.

ㆍLinear Scale이 Sub-micron을 실현합니다.
Scale의 정밀도는 측정현미경의 정밀도를 좌우하는 중요 포인트로 OLYMPUS에서는 독자적으로 개발한 고정도 광학식 LinearScale에서 얻어진 광정보를 전기적으로 처리하여 측정합니다. Scale 내장위치도 Abbe의 정리(측정해야 하는 길이와 Scale이 그 측정방향에 일직선으로 배열된 위치가 가장 오차가 없다)에 근거하여 오차를 최소로 하였습니다.

■ 국제규격의 Traceability체계가 고품질을 보증 또한 치밀한 After Service로 제공

ㆍ고품질을 보증하는 엄격한 제조공정.
고정밀도 추구를 위하여 제조에서 조립에 이르기까지 일본 내 제1급환경level에서 정비. 최상급의 항온공장에서 엄선한 소재를 가공하고 숙련자의 손을 통해 한대 한대 소중한 제품으로서 마무리를 합니다.
또 OLYMPUS의 측정현미경은 부품 하나에서 완성품에 이르기까지 엄격한 Traceability를 기본으로 관리되어지고 있습니다.

Special Features : LED 조명

▶ 반사, 투과 조명용의 밝고 깨끗한 LED조명장치 [MM6-IL]시리즈

ㆍ보다 밝고 깨끗한 상으로 관찰효율이 UP
투과, 반사용 LED조명 유닛은 할로겐의 황색보다 자연광에 가까운 백색 LED를 채용했습니다. 관찰상이 밝고 깨끗하여, 시료의 색을 충실히 재현하며, 밝기를 바꿔도 색이 변하지 않고 LED조명은 형광등처럼 변동이 없기 때문에 장시간 작업으로 인한 눈의 피로를 경감시켜줍니다.

ㆍ긴 수명, 낮은 소비전력으로 소비량을 삭감

ㆍ정숙, 저 발열에 의한 측정신뢰성의 향상

ㆍ보다 작은 스페이스의 실현

ㆍMM6-IL dimensions

언제라도 최상의 상태를 유지하도록 정기정검제도 service를 실시

OLYMPUS는 계약에 맞추어 일정기간 내의 정기점검을 실시합니다. 연1회 정기점검과 연2회 정기점검이 가능하고 계약기간 및 점검회수는 상담에 따름니다. 또 고객의 상황에 맞추어 수시점검도 시행하고 있습니다.

＜점검범위＞
점검보고서에 따라서 기능점검과 정밀도 점검을 실시하여 장치의 상태를 평가하는 것을 기본으로 하고 있습니다. 부품교환이 불필요한 수리에 대하여는 그 장소에서 바로 점검이 가능합니다. 또 점검의 결과 별도 수리가 필요한 경우에는 상담을 바랍니다.

＜점검내용＞
● 정밀도 점검, 교정의 실시 ● 기능 Check ● 윤활유 교환, 가벼운 수리 및 간단한 조정 ● 광학계의 점검과 청소 ● 외관청소 ● 점검보고서, 검사성적표의 발행

상기의 연락은 T.02-3473-4188으로 ㈜택산상역 고객만족팀 담당자(팀장 진재환)에게 문의바랍니다.

Special Features : Easy Operation

사람에게 편안함을 주제로 간편한 사용기능과 확장성을 철저 추구
■ 장시간의 측정에서도 피곤하지 않도록 사용자를 위한 이상적 설계

ㆍZ축 측정을 빠르게 행할 수 있는 전동 Focus
(STM6-LM,STM6 전동type)핀트 조정과 높이 및 깊이의 측정시 조작성을 대폭 향상시킨 전동Focus를 Olympus가 처음으로 채택. 조동과 4단계의 미동(800,400,200,50㎛)변환을 간단하게 Z축 조작 Box에서 조작 가능하게 하여 작업시의 피로가 대폭 경감됩니다.

 

ㆍ보기쉬운 이상적인 위치에 부착된 Counter
현미경 본체와 일체화된 표시부가 관찰위치와 거의 동일선상에 위치하여 작은 시선의 이동만으로 측정치의 확인을 할 수 있어 관찰,위치 맞춤에만 전념 할 수 있습니다.

ㆍEdge 관찰, 외관 Check에 뛰어난 UIS광학계를 채용
UIS광학계가 실현하는 우수한 고해상력과 Contrast에 의한 Edge의 상을 통해 측정, 외관검사의 비약적인 향상을 도모합니다.

ㆍ인간의 눈의 분해능을 고려한 Raticle에서 간단한 위치 맞춤.
측정현미경에서는 측정물과 Raticle을 정확히 맞추는 것이 중요합니다. 직선을 맞추는 것은 하나의 선으로 행하는 것보다 Raticle및 파선이 있는 쪽을 정확이 행하는 것이 더 정확한 Data를 얻을 수 있습니다. 이러한 인간의 눈의 특성과 분해능을 분석하고 초점판에 Raticle과 파선을 넣어서 맞춤 정밀도를 향상시킵니다.

Special Features

STM6-LM

■ 전동 Focus를 기본장착하고, 대형시료를 고정밀도로 빠르게 측정

ㆍ전동 Focus 채용에 의하여 Z축 측정시의 피로를 대폭 경감

전동 Focus를 기본장착하였고 손쉬은 조작Box로 핀트조정을 행하기 때문에 지금까지의 무리한 자세에서의 Z축Handle 조작은 필요없습니다.

ㆍ효율적인 공간 활용, 일체형Body(전계장비)。
본체에 전기장치 System을 내장한 Counter일체형 Body에 Data통신 Interface부분에 RS232C를 내장하여 컴퓨터와의 자료 전송과 Printer 등의 외부기기와의 접속이 더욱 용이하게 되었습니다. 더욱이 컴퓨터에 부착된 Data는 MicroSoft Excel등으로 Database화가 가능합니다.

ㆍ광범위를 일시에 빠르게 검사할수 있는 클러치 타입의 대형스테이지

250㎜×150㎜ 의 큰 측정범위를 갖는 Stage를 탑재. X.Y 구동 각각에 Clutch free기구를 장비, 레버 하나로 조동미동을 빠르게 변환이 가능합니다. X line위와 Y line위, XY 평면상의 자유자재로운 Stage운송이 가능하게 되어 대형시료에서의 빠른 검사를 실현하였습니다. 또 Stage위에 동시에 다수의 시료를 놓고 측정하는 것도 가능합니다.

 

STM6

■ Foot Pinter에 우수한 소형화, 고기능화적인 설계.선택가능한 Body, Stage등 다양한 조합을 실현

ㆍ설치장소에 관계없는 적은 공간을 차지하는 Body
(W)295㎜×(D)429.4㎜의 Compact한 Body에 다채로운 기능을 집약함으로 이 class에서 최소설계를 실현하였습니다.

ㆍ용도에 맞춘 4 Type, 충실한 Line-Up
0.1㎛ 검출의 전동 3축 type, 매뉴얼3축type에는 0.1㎛ 검출과 0.5㎛ 검출용을 준비. 또한 매뉴얼 2축 type의 0.5㎛의 검출용이 있습니다.

Special Features : Auto Focus

미세한 영역과 단차가 있는 시료를 고정밀도로 빠른 시간에 Focusing
■ 개인차에 의한 오차를 없앤 고정밀도 측정과 빠른 검사를 실현

ㆍ간단히 Add-on 가능한 Auto Focusing Unit
STM6 series에서는 one-shot와 trace기능을 추가하여 Assist의 3Mode를 탑재. 섬세한 조작이 요구되어지는 목시에 의한 높이 깊이의 측정을 모드의 구분 사용에 의하여 자동화가 가능합니다. 개인차에 의한 오차의 발생이 없는 동시에 X,Y Handle에서 손을 이동하지 않고 관찰할 수 있는 등 Z축측정의 효율을 대폭 향상시켰습니다. 그리고 중간경통 type이므로 용이하게 Add-on이 가능합니다. [원리도]

1.one shot
거친 핀트 상태에서 Auto-Focus 실행으로 시야중심에 신속하게 핀트를 맞춘다.

2.Trace
초점이 맞는 위치를 추적하면서 항상 핀트가 일치한 상태를 유지한다. X,Y축 측정시의 핀트 맞춤이 불필요하기 때문에 작업효율이 한단계 향상됩니다.

3.Assist
측정하는 시료면이 Trace범위를 벗어난 경우, Auto Focus가 대기 상태가 됩니다. 전동 focus에서 대물렌즈를 상하로 움직여 다시 Trace범위에 넣은 시점에서 Auto focus가 작동하고 초점위치가 정지합니다.

ㆍ고배율 대물렌즈에서 1㎛의 높은 재현성
반사 Active?공초점 방식을 채택함으로 시료의 경사?표면의 거친 정도에 대하여도 안정된 초점을 실현. LMPlan100× 대물렌즈에서 1㎛의 재현성을 가능하게 하였습니다.

대물렌즈
재현성(2σn-1)
LMPlan20×
2㎛
LMPlan50×
1㎛
LMPlan100×
1㎛
*당사기준 샘플에 의한 수치입니다.

 

ㆍ미소영역에서도 Auto-Focus가 가능
Laser의 Spot지름이 50x,100x 대물렌즈 사용시 φ1㎛를 실현. 미소영역의 Z축 측정이 가능하게 되었습니다. Bonding Wire등에서도 대응 가능합니다.

대물렌즈
Spot지름
LMPlan20×
φ2.5㎛
LMPlan50×
φ1㎛
LMPlan100×
φ1㎛
*계산에 의한 이론치입니다.

Options

■ 효율적인 측정을 위해 필요한 기능을 선택, 추가할 수 있는 다양한 ACC’S를 준비

ㆍ고배율에서의 검사와 미분간섭관찰하에서의 측정
다양한 측정영역에 대응하기 위하여 반사조명 장비를 STM6-LM, STM6에 각각 3종류씩 준비하였습니다. 측정대물렌즈와 Revolver을 이용하여 금속대물렌즈에 대응하고 명시야,암시야, 미분간섭관찰까지 가능. 용도에 따른 장비 추가로 System Up-grade가 가능합니다.

ㆍ측정효율을 비약적으로 높인 Add-on 가능한 장비 준비
높이,깊이 측정을 자동화 하는 Auto-Focusing Unit과 시료의 Edge를 자동검출하는 투과Edge Sensor Unit을 준비. 측정시간 단축 및 피로를 경감할 수 있고, 측정효율을 대폭 향상하였습니다.

ㆍ투과Edge Sensor
시료의 Edge를 자동검출하는 Edge Sensor Unit을 용이하게 추가할 수 있습니다.시료의 Edge를 Sensor부에 통과시키는 것만으로 Edge를 검출할 수 있어 개인차에 의한 오차를 해소함으로, 목시 측정에 비교하여 재현성이 향상됩니다. 정확하고 안정된 Data를 얻을 수 있고 측정시간도 대폭 단축이 가능합니다.

ㆍMM6-RHS250,MM6C-RHS100/ RESET SWITCH

XY counter값의 Reset을 적은 동작으로 할 수 있습니다.

ㆍMM6-RK01/Remote cube Unit

XYZ counter Reset, Data 출력과 1/2 counter의 변환을 적은 동작으로 할 수 있습니다.

ㆍMMFS01/Foot Switch

Printer, 2차원 data처리장치등에서의 Data 전송을 Hand-free로 할 수 있습니다.

ㆍMM6-EMO/정립단안 경통

정립상의 단안경통입니다. Cross line이 있는 접안렌즈 MM6-OCC10×과의 조합으로 사용하는 것이 가능합니다.

ㆍSZ-FLR/형광등 조명 장치

Ring 형광조명등에 의해 그림자와 번짐이 없는 조명이 가능합니다.(별도 Adapter가 필요합니다)

ㆍLG-R66/Ring Light Guide

관찰에 불필요한 표본의 그림자를 차단하여,밝고 깨끗한 관찰상을 얻을 수 있습니다.(별도 Adapter가 필요합니다.)

MM6-FN

제품의 특징

  • FN지표에 따라 간단하게 초점을 맞출 수 있으며 개인차에 따른 측정오차를 최소화하고, 단차 측정시간을 단축
  • 소형타입의 유닛으로서 STM6 및 STM6-LM 탑재가능
  • 측정 배율은 10X~50X까지 사용가능
  • 명시야 및 암시야 관찰법에 대응가능